微電（diàn）子企業日常保潔——上海保（bǎo）潔公司【格瑞戴（dài）西】培訓資料

一、微電子企業日常保潔（jié）特殊（shū）性（xìng）

電（diàn）子企業、微電子（zǐ）企業是當前對潔淨級別要求最高的企業（yè），按照潔淨程度不同，可分（fèn）為普通（tōng）區域和受控潔淨（jìng）區、潔淨室（shì）、氣閘室等。對普通區域的保潔，按照通常的寫字樓的要（yào）求 進行即可，而對於受控潔淨（jìng）區、潔淨（jìng）室、氣閘室等潔淨級別較高的區域就必須（xū）有（yǒu）相應的專業知識和相應的工藝技術才能做好保潔服務。下麵，就受控潔淨區、潔淨室的日常保潔做一些 論述。

二、微電子企業潔淨室設計理（lǐ）念

（一（yī））  潔（jié）淨室的基本概念

潔淨技術是通過工程技術方麵的各（gè）種設施和嚴格管理，使室內微（wēi）粒子含量、氣流（liú）、壓力等控製在一（yī）定（dìng）範圍內，這種房間（jiān）空間稱為潔淨室。

（二）  空（kōng）氣中的微粒子

空氣（qì）中的微粒子有生物粒子和顆粒物，它們使微電子生產過（guò）程、製藥過（guò）程中產生靜電， 並且（qiě）汙染（rǎn）產品，造成產品（pǐn）的缺（quē）陷；在醫院手術室中的（de）汙染會導致手術失敗，危及生命。因此空氣中（zhōng）的微粒子是潔淨控製區主要的（de）清（qīng）除對象。電子企業的防靜電、防塵要求級別越高，空 氣（qì）中允許的微粒子含量就越低。下麵我們就來（lái）認識一下空氣中的微粒子。

1.       生物粒子

(1)    細菌、藻類：藻類與（yǔ）其他微生物的不同之處在於（yú），它能進行光合（hé）作用。藻類在汙 染控製（zhì）和潔淨室（shì）領域一般不是（shì）問題。

(2)    真（zhēn）菌類：在汙染控製和潔淨室領域，真（zhēn）菌是第二大微生物汙染源，並會成為一種（zhǒng） 嚴重威脅。真菌與大多數細菌相比（bǐ），對養分的要求更簡單，並能夠在沒有大量水的條件下生長。

(3)    病毒：病毒在（zài）微生物中處在很獨特的位置。因為按照一般所（suǒ）接受的概念，不能將 其分類為活的有機生（shēng）物。它們的構造（zào）相當簡單，常常是由一層蛋白質內的單個DNA和RNA 分子組成，比（bǐ）微生物小得（dé）多（duō）。

(4)    原生（shēng）物：由於原生物差不多總（zǒng）是與天然形成的水環境相關（guān）聯，所以它們在汙染控 製和潔淨室領域無足輕重（chóng）。

2.       顆粒物

顆粒（lì）物（particulate matter)又稱塵，是大氣中（zhōng）的固體或液體顆（kē）粒狀物質。顆粒物可分為（wéi）一次顆粒物和二次顆粒物。一次顆粒物是由天然汙染源和人為汙（wū）染源釋放到（dào）大氣（qì）中直接造（zào） 成汙染的顆（kē）粒物，例如土壤粒子、海鹽粒子、燃燒煙塵（chén）等。二次顆粒物是由大氣中某些汙染氣體組分（如（rú）二氧化硫、氮氧化物、碳氫化合物等）之間（jiān），或（huò）這（zhè）些組（zǔ）分與大氣中的正常組 分（如氧氣）之間通過（guò）光化學氧化反（fǎn）應、催化氧化反應或其（qí）他化學反應轉化（huà）生成的顆粒（lì）物，例如二（èr）氧化硫轉化生成（chéng）硫酸鹽。

電（diàn）子產品潔淨廠房對空氣潔淨度和各類雜質的控製（zhì）有嚴格的要求。半導體集成電路製造是一種高科技製造技術，為了（le）獲得微電子產品的高質量和高成品率，必須嚴格控製芯片缺 陷。而導致芯片缺陷（xiàn）的因素十分（fèn）複雜，其汙染源可能（néng）來自空氣中的粒（lì）子或加工過程中使用的各類工藝（yì）介質中的雜質、清洗用純水中的雜質以及工具等帶（dài）來的（de）雜質汙染等。生產環境控製 就是對與產品生產過程相關的各類汙染物進行控製。其中，對生產環境中微粒的控製（zhì）是十分（fèn）重要的內容。當前45nm的極大規（guī）模集成電路已投人生產，要求潔（jié）淨室的空氣潔淨度控製在IS01級或IS02級，微粒粒徑控製（zhì）在0.03 pm。隨著集成度的不斷提高、加工尺寸日益微細 化，集（jí）成電路生產過程不僅對空氣潔淨度等級（jí）提出越來越高的要求，也對整個產品生產過程中微粒的黏附、化學汙（wū）染物、芯片的損傷等問題提出越來越高的要求。近年來的實踐表明， 帶人潔淨室或潔淨室產生的汙染（rǎn）以及空氣（qì）中的NO、、SOt、Na+、Cl一等，超（chāo）細玻璃纖維製品中的硼和（hé）DOP粒子，操作人員自身產生的NH4+、Na+等，潔淨室建造（zào）材料散（sàn）發的各（gè）種有（yǒu）機 物、金屬離子等，生產過程（chéng）使用（yòng）溶劑、洗滌液散發的各種化學汙染物等（děng）對（duì）生產（chǎn）過程都（dōu）有很大的影響。

（三）  潔淨技術的運用

潔淨技術幫助人類實現了很多夢想，應用領（lǐng）域越來越（yuè）廣，正發揮著越來越大的作用。

1.       微電子工業（yè）

微電子工業是當前對潔淨室要求最高工業潔淨業。此外，如現代（dài）工業中的液晶、光纖等的生產，同樣均有潔淨度的要求。

2.       醫（yī）藥工（gōng）業、宇（yǔ）航（háng）工業、精密機械工業、儀器儀表（biǎo）工業、精細化學工（gōng）業等，也要應用到潔淨技術。

3.       其他機構，如醫院、醫學試（shì）驗室等也（yě）需運用潔淨技術。

三、潔淨室綜合要求與原則（zé）

潔淨（jìng）技術已在全國範圍內實施。微電子企業的生產環境提出了與工藝過程相對應（yīng）的（de）不同潔（jié）淨級別要（yào）求，限定了空氣中塵埃粒（lì）子的大小和含量；室內微粒子含量、氣流、壓力等也需 控製在一定範圍內，即要求在潔淨室中（zhōng）進（jìn）行生產。

潔淨室是（shì）一項綜合性技術（shù），作為一個（gè）合理的設計，不僅要考（kǎo）慮淨化空調裝置和設（shè）施，而（ér）且在設計潔淨室時，對於工程選址、工藝布置、典型的（de）潔淨室（shì）人身淨化處理的流程，也必須 滿足以下基本要求。

（一）  潔淨室建築要求

1.       環境條件（jiàn）

(1)        具（jù）有合理的（de）人、材料、機械的流動（dòng）路線。

(2)        工藝區域和維修區域劃分明確。

(3)        有防（fáng）止外部環（huán）境對室內汙染的手（shǒu）段。

2.       靈活性

(1)        適應工（gōng）藝的發（fā）展與擴大。

(2)        工（gōng）藝區域與維修區域有調整的可能。

(3)        建築間隔的（de）變更（gèng）與（yǔ）潔淨空間有調（diào）整的可能性。

3.       安全性

(1)        安全通（tōng）路的設（shè）計合理。

(2)        有毒藥物的存放安全。

4.       運轉條件

(1)        防止振動（dòng）的設計要求合理。

(2)        防止噪聲（shēng）的設計要求合理。

（二）  潔淨室設備的要求（qiú）

1.       環境妻求

(1)        確保（bǎo）滿足空氣潔淨（jìng）度的技術實施要求。

(2)        滿足溫濕度控製與潔（jié）淨度控製手段的一致性的要（yào）求。

(3)        能維（wéi）持室內正壓要求，合理確定送、排風量。

(4)        發生有害氣體時能排放與處理。

(5)        能防止產（chǎn）生振動與噪聲。

2.       靈活性：滿足工藝發展的要求。

3.       安全（quán）性

(1)       產生（shēng）廢品（pǐn）、廢氣的處理設施完備。

(2)       排煙設備、消防設備的設置與報警係統完善。

4.       運行條件

(1)       有無備用設備。

(2)       瞬（shùn）間停電可（kě）防止產生不良後果。

(3)       維護維修方便。

（三）潔淨室設計綜合原則

1.       潔（jié）淨工程選（xuǎn）址

(1)       周（zhōu）圍（wéi）環境較清潔，綠化較好。

(2)       遠離鐵路、公路、機場（尤其是有（yǒu）防震要求的潔淨室更要遠離這些（xiē）場所）。

(3)       若受條件限製，必須位於工業汙（wū）染或灰塵較嚴重的地區，應處於全年最多風向的 上風側。

(4)       各（gè）區路麵盡量選用堅固、起塵少的材料。

2.       工藝布（bù）置

(1)       在不影響生產（chǎn）情況（kuàng）下，應盡量將潔淨度要求相同的（de）潔淨室安排在一起。

(2)       室內隻布置必要的工藝設備，容易產生灰塵和有害氣體的工藝設（shè）備（bèi）盡量布置在（zài）潔 淨室外部。

(3)       工藝用的易燃、易（yì）爆等氣體容器（qì）不要設在潔淨室內。

(4)       在同一（yī）潔淨室內，盡量將潔淨度要求（qiú）高的工作布置在潔淨氣流首先到達的區域。

(5)       產生汙染的（de）工序，布置在（zài）靠近（jìn）回、排風（fēng）口（kǒu）的位置。

(6)       潔淨室的設備及家具采用光滑、不容易起塵的材料。

四、潔（jié）淨室日常管理和（hé）維護原則

1.       潔淨（jìng）室有人（rén）員進入，潔淨度就會隨之而改變。人的外層皮膚不斷（duàn）地向四周環境釋放（fàng）粒子，之所以發生這一情況，是由於外皮細（xì）胞連續不斷地被新細胞替換。服裝（zhuāng）與（yǔ）首飾等的摩 擦，會增加外皮釋放（fàng）的粒子數量。由於人（rén）員工作時（shí）會有更多的活（huó）動，所以釋放的粒子數量也就隨著增加。

2.       人汙染（rǎn）發生器，因為不可能把人完全密封在微過濾（lǜ）器中，也不可能（néng）給人塑造一（yī）個完整的空氣動力學的形狀，所（suǒ）以人（rén）總是對周（zhōu）圍的環境產生影響。在汙染控製領域（yù），化妝（zhuāng）品常常 會造成問題。所（suǒ）以，潔淨室一般不允許人員使用化妝品（pǐn）。

3.       受控（kòng）潔淨區及潔淨室都（dōu）是禁（jìn）止吸煙的。即使停止吸（xī）煙後，粒子（zǐ）仍會存留在氣管和肺中，並不（bú）停地從人體內向周圍（wéi）空氣中散（sàn）發。這就意味著吸煙的人是一（yī）個強大的粒子產生器。

4.       服務與維修人員的（de）活（huó）動也會降低潔淨室的潔淨度，克服這個（gè）問題有兩種方法：一是將所有需要維修的物件全部放置到（dào）潔淨室外的服務區；二是如果設備無法移出潔淨室，就（jiù）在 潔淨室內（nèi）進（jìn）行（háng）維修，但要求維修工作（zuò）保持在最低程度。對進入潔（jié）淨室的服務人員（yuán），特別是那些從潔淨區之外進人潔淨室的人員，都應按正確的步驟進行培（péi）訓，以將汙染可能降至最低（dī）。 氣流方式以及工藝產生又擴（kuò）散開來的汙染物，會影響工藝（yì）生產的結果。

5.       為保證人（rén）員、生產工藝與潔淨室之間的有效互動，既需要訓練（liàn）有素的人員，又需要潔淨（jìng）室的物流記錄（lù），還需要寬敞的存儲區、寬大（dà）的擺放（fàng）位置，及有序的潔淨設備存放區、寬敞的（de）氣閘和更衣室。

五、潔淨室和潔淨區工作指南

（一）  一般要求（qiú）

1.     注重手、指甲、臉部的清潔衛生。人員衛生極其重要。

2.      精心挑選設計（jì）精良的潔淨（jìng）服裝係統，並以正確的方式穿著，以保證其整體的防護性能。

3.      進（jìn）人潔淨（jìng）室前（qián）必須清洗眼鏡並加（jiā）以消毒，眼（yǎn）鏡的例行清（qīng）洗很容易被忘記。

4.      應盡量保持部（bù）件與工（gōng）具潔淨。

5.      工作隻能在潔淨的表麵上進行。

6.     禁止吸煙（yān）或使用鼻煙。與不吸煙者相比，吸煙（yān）者或使用鼻煙者會向空中多釋放出幾 百萬個粒子。

7.      潔淨室內（nèi）不得梳頭（tóu），甚至不能（néng）碰頭發。

8.      室（shì）內一般（bān）不允許使用化（huà）妝品。所有化妝品都有粒子附著在皮膚上。如果說話、咳嗽、打噴嚏、觸摸一件物品，這些粒子就會從皮膚上掉落下來（lái）而成為汙染物。

9.      禁止（zhǐ）使用（yòng）指甲油。因為指甲油比指甲硬，時間長了就會出現（xiàn）裂痕，塵埃與微（wēi）生物就有可能藏身其中，並到處傳播。

10.     室內禁止佩戴首飾及手表。因為它們難以清洗，並可能造成汙染。

11.     潔淨室內禁（jìn）止吃喝，禁（jìn）止（zhǐ）咀嚼口香糖或糖果。

12.     不能把潔淨服提來提去，人員不能觸（chù）摸或翻（fān）動潔淨服。

13.     要避免一（yī）切不必（bì）要（yào）的活動。增加身體的活動會增加體表散發的粒子。人員不必要的活（huó）動會使周圍空氣形成渦流（liú）。

（二）  人員衛生要求

1.     每個人員應對自己個人的清（qīng）潔衛生負責。

2.    人員是潔淨生產區主要的汙染源之一。從人體脫落的表皮細胞（bāo）是“死”粒子，但是 常（cháng）常會沾有細菌及其他微生物，因此人員要避免（miǎn）接觸設（shè）備和產品。

3.    除定期進行盆浴或淋浴外，還（hái）應定期洗頭。

4.       手是一（yī）大汙染源，手（shǒu）是將汙染物從一個地方傳播到另一個地方的罪魁禍首之一。

5.      口腔也是（shì）一個主要的汙染（rǎn）源，因此好的口腔衛生至關重要。

（三）  與人（rén）相關的汙染風險因素（sù）

1.     人員的選擇。

2.      人員的（de）教育與培訓。

3.      潔淨室的安全要求（qiú）。

4.      人員的行為和（hé）人員衛生。

5.      人員健康狀（zhuàng）況（kuàng）。

6.      進人潔淨室最低數量人員。

7.      最大占用程度（最大允許人員數（shù）量）。

8.      進出規（guī）則。

9.       人流進出潔淨室的通道。

（四（sì））潔淨室工作一般規定

每個潔淨室必須有各自文件形式（shì）的規定及工作步驟。下麵提到的一般性規定，適用於所 有的潔（jié）淨室，而不專門考慮在某一特定潔淨室內進（jìn）行的特定工作步驟的具體特點。

1.     潔淨室內隻能有必要人員。室內人員越多，汙染水平越高。

2.      隻允許經過培訓的人員在潔淨室工（gōng）作，隻有具備特定工作所需技能的（de）人員，才允許進人潔淨室。

3.      不允許工作人員將任何可能產（chǎn）生汙染的東西帶人潔淨室。隻有潔淨室內工作（zuò）所必須的（de）物品，才允許帶人並且要采取防汙染措施。

潔淨室內不允許有下（xià）述物品：

(1)       食品、飲料、糖果、口香糖。

(2)       瓶瓶罐罐（非用品）。

(3)       香煙、煙鬥、鼻煙。

(4)       收音機、唱片（piàn）機（jī）、袖珍錄音機。

(5)       用木材（cái）、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料製（zhì）成的（de）物品（pǐn）。

(6)       非潔淨室專用紙，包括報紙（zhǐ）、雜誌、書籍、紙巾。

(7)       鉛筆、橡皮及（jí）可釋放粒子的書寫用品，比如纖維筆。

4.     須隨手關門（mén）。開門會使室內壓力降（jiàng）低，這會造成潔淨室氣流（liú）的不良運動。

5.      開關門的動作都要慢。快速關門會增加從潔淨程度較低區域流（liú）人潔淨室的空氣量。為控製開關門的速（sù）度，可以在門上安裝閉門器或彈（dàn）簧。

6.      通過氣閘的兩扇門時，隻有在第一道門完全關閉後，再打開（kāi）第二道（dào）門。所謂的聯鎖裝置就（jiù）是使兩道門不（bú）能同時打開。

7.      不通過更衣室就無法進人潔淨（jìng）室。更衣室不僅僅用於更衣，它是潔淨程度較低的外（wài）部區域與潔淨程度（dù）較高的內部生產區域之間的緩衝區。不得使用像緊急出口一類的、可以從（cóng） 生產區直接到達外部潔（jié）淨度較（jiào）低區域的出口，這種出口可（kě）能會造成汙染物從外部空氣（qì）到潔淨室（shì）內部空（kōng）氣間的迅速轉移。

8.     潔淨室應永遠保持清潔整齊。不整齊的潔淨室絕不會潔淨。

9.      相對生產工藝而言，人員應處在正確的位置。比如，斜靠（kào）在產品上（shàng）是不好的（de）習慣，因為這會使潔淨服上的“死”粒子和微（wēi）生物粒子掉落在產品上及（jí）產品的（de）周圍。在單向流中 工作的人（rén）員，不能直接坐在單向流中，因為這會（huì）使氣（qì）流將服裝內鬆散粒子吹落（luò）到空氣中。對（duì）潔淨室中采用的工作方法，事先認真作好（hǎo）計劃，才能使（shǐ）汙染的風險降至最（zuì）小。

10.    應認真考慮產品的移動方法，遙控操作方法較可取，因為它不需要搬運產品。潔淨室工作常常（cháng）使用手套，但手套也可能成為（wéi）汙染源。

11-在潔淨室內（nèi）移動（dòng）物（wù）品時，不得使該物品與服裝或其他物品接觸。

12.    在靠近產品的位置工作（zuò）時，應避免講話（huà）。即（jí）使使用（yòng）麵（miàn）罩（zhào），從鼻和嘴散發出的粒子仍有穿過或繞過麵具而接觸產品的危險。如果打噴嚏或咳嗽無法避免，就應當避開產品（pǐn）。打完 噴（pēn）嚏或咳嗽完之後，應更新麵罩。麵（miàn）罩應能把嘴鼻都罩住。

13.    避免接觸潔淨室的表麵。即使潔淨室本身是潔淨的，潔淨室（shì）內的表麵和設備表（biǎo）麵仍可能是受到（dào）汙染的。戴著手套的手要離開潔淨服，以降低汙染手套的危險。

14.     應定期清洗（xǐ）潔淨室手套，以（yǐ）減少接觸和傳播（bō）汙染物的風險。手套（tào）清洗可以使用經過

過濾的70%濃度的乙醇或異丙醇。這兩種酒精都可以使用，因為它們（men）揮發後均無殘留物。

15.      潔淨室使用（yòng）的抹布隻能用一次（cì）或隻（zhī）能按事先定好的次數使用，並（bìng）應在用完以後拋棄。用抹布進行清（qīng）潔時，應（yīng）使用擺動幅度大而直的動作，動作與動作之間沒有重疊。

16.      在潔淨室工（gōng）作，應使用平穩、認真考慮好的動作。快（kuài）速淩亂的動作會使室內懸浮粒子濃度大大增加。

17.      留在（zài）潔淨室內的產品應放在密（mì）封櫃中或放在瓶內，以使物品或產品與汙（wū）染（rǎn）物接觸的風險降至最（zuì）小。最好的辦法是將其保存在層流工作台或（huò）安全工作台中。

18.      廢棄的物（wù）品應放人專門設計的（de）容器內，然後（hòu）定期移出室外。

19.      應使用合適的方法，對潔淨室進行潔淨，有的情況下還（hái）要對潔淨室進行消（xiāo）毒。

20.      進（jìn）人潔淨室的人必須知道他的責任，並受過各種潔淨室專業技能的專門培訓，懂得潔淨室內所有係統的（de）功能。

21.      發生重大事故時，比如潔淨（jìng）室內外發生火災、爆炸、斷電等，所有人員（yuán）應快速有序地行動。出現緊急情況，比如打破了有毒的或無毒的材（cái）料，有個別員工（gōng）不適，或其他類似情 況等，員工都應知道應如何采取（qǔ）行動，並保持鎮定（dìng）。

22.      進入潔淨室（shì）的人員，必須對其穿著的潔（jié）淨服有足夠的認知。

23.      所有在潔淨室工作的人員，不論其（qí）工作內容如何（hé），必（bì）須穿著適當的潔淨室（shì）服裝。

24.      用於無（wú）菌生產的潔淨（jìng）室滅菌工（gōng）作服，未經洗滌和再滅菌不得再次使用。

25.      在滅菌區工作的人員，必須完全了解並（bìng）遵守各種滅（miè）菌、消毒步驟。

26.      在潔淨室工作（zuò）的人員，不得返回氣閘（zhá）室。

27.      在氣閘室中，應放有塑料袋，可將潔淨服放人袋（dài）中以（yǐ）便隔離（lí）和運輸。這樣（yàng），就（jiù）可以將用過的潔淨（jìng）服輸送到洗滌區，而沒有汙染產品或人員的危險（xiǎn）。

28.      從整個係統的舒（shū）適（shì）性和有效性出發，決定一次可進入氣閘室人員的數量。

29.      錢包、手袋等個（gè）人物品不得（dé）帶人潔淨室（shì）或氣閘室。

30.      身體不適的人（rén）員，特別是腹部、鼻、喉嚨不適者（zhě），不應進人潔（jié）淨區。

31.      所有與潔淨室（shì）外人員（yuán）的語言溝（gōu）通，全部都要通過內線電話或內部通訊（xùn）係統（tǒng）進行。決不能把（bǎ）氣閘室和通道當成潔（jié）淨（jìng）室與生產區外溝通的通道。

32.      潔淨室內禁止使用化妝品，禁止佩戴戒指、首飾和表。

33.      將量杯、燒瓶及其他用品帶人潔淨室前，必須按照既定步驟進行清潔與滅菌。

34.      潔淨室內隻能使用長纖維（wéi）製作的抹布，目前使用最廣（guǎng）泛的是合成（chéng）材料抹（mò）布。傳統的家用拖布、刷（shuā）子及其他物品，決不能用於潔淨室，潔淨室要用一次性無塵布、無塵紙、一次 性（xìng）帽子及口罩。

六、潔淨區衛生操作流程及操作注意事項

進人潔淨區時必須嚴（yán）格按照更衣程序進行更衣、換（huàn）鞋（不同區域的鞋子按（àn）規定擺放在相應的位置上（shàng））洗手消毒（dú）穿潔淨上衣和褲子、鞋套（先上（shàng）後（hòu）下），戴口罩（穿戴完畢 後（hòu），在鏡子麵前整理著裝，確保頭發、胡須和裏邊的衣服不外露）•-進人緩衝間，手（shǒu）部消毒潔淨（jìng）區。

進出潔淨區時，應隨手關門，不能同時打開連（lián）通緩衝間和潔淨級別不同（tóng）的通道，以免影響潔淨區內潔淨空（kōng）氣的流通方式。在（zài）潔淨（jìng）室（shì）工作時避免大聲喧嘩，禁（jìn）止打鬧嬉戲；操作應（yīng）輕 拿輕放，稱量物料須第二人複核，物（wù）料稱量配置後及時（shí）清理工作台麵，隨時保持（chí）工作區域的（de）

衛生清潔與整潔。

要加強（qiáng）對生產設備的（de）養護工作，適時對設備轉動部件進行潤滑，進行電路檢查和易磨損部件檢查更換等，禁止對設備亂敲亂打或故意損壞設（shè）備。生產用（yòng）的工器（qì）具和清（qīng）潔用具（jù）應分類 使用，定點存放。清潔（jié）用具、抹布不能交叉混用，使用後清（qīng）潔（jié）幹淨（jìng）統一存（cún）放在潔具間。工器具應集中在規定位置擺（bǎi）放，使用後清潔幹淨及（jí）時放回（huí）原來位置（zhì）上，時刻保持生產區域的整（zhěng）潔 有序。生（shēng）產使用的各類記錄應在崗位明（míng）顯位置放置（zhì）並分類，便於工作人員（yuán）及時記錄並進行複核，生產（chǎn）結束後，記錄由崗位專人整（zhěng）理，負責人（rén）審（shěn）核後（hòu）交由相關部門人員存檔。

七、某（mǒu）電子企業（yè）保潔服務實例

某公司為某微電子（zǐ）企（qǐ）業做保潔服務，服務實際操作的部分內容如下：

該公司把潔淨級別較高的區域稱作特（tè）殊區域，特殊區域（yù）有：黃光區、灰區、一般潔淨區。特殊區域需要做的保潔服（fú）務工作內容與日常保潔的（de）內容基（jī）本（běn）相同，但是專業儀（yí）器不讓保 潔員管和動。

其（qí）中，黃光區對人的眼（yǎn）睛有刺激作用，所以在工作時間上有特殊的待遇。進人黃光區（qū）持續時間約lh後（hòu），要休息0.5h，並（bìng）佩戴專業眼鏡。

對保（bǎo）潔員沒有特殊的要求，但（dàn）是必須按照甲方編製的管理（lǐ）文件（jiàn）培訓合格後，方能（néng）上崗進入（rù）潔淨區工作。

控製潔淨區（qū）衛（wèi）生標準要求極高，必（bì）須通過空氣（qì）測（cè）量儀評定達標狀（zhuàng）況。為了確保潔淨區達（dá）到潔淨標準，保潔操作流程、操作工（gōng）藝、保潔員工操作動作的特殊規定由甲乙雙方共同製 定，適應潔淨區（qū）的要求並能（néng）具體實施。

比如：潔（jié）淨室的地麵要求員工用（yòng）無塵布蹲著一塊一塊地擦，而（ér）且員工必須是往後退著（zhe）擦，地麵材料為環氧樹脂；潔淨室每天進（jìn）行消（xiāo）毒（dú），並規定了消毒的頻次和時間；設備管道都 必須定（dìng）期（qī）保潔，不能有死角。

潔淨區和普通區域不（bú）同，按潔淨區的防靜（jìng）電、防（fáng）塵專業要求，潔淨室有專（zhuān）用（yòng）吸塵器、專用服裝，不得用普通抹布，要用專用的一次性無塵（chén）布、無塵紙進行保潔（jié）操作，員工戴一次性 的專用帽子及口罩。

員工操（cāo）作流程記錄、檢查記錄、交接班記（jì）錄指（zhǐ）定專人管（guǎn）理，存放在指定地點。

由以上部分內容就可看（kàn）出微電子企業的保潔要求有多麽嚴格。